Groessere Chip-Leistung mit Scalpel

Forscher der Bell Labs haben eine Methode entwickelt, Elektronenstrahlen zum Einbrennen von Microchips einzusetzen und dadurch vier Mal soviel Merkmale auf einem Chip unterzubringen, wie es gegenwaertig der Standard ist.

Mit der Scalpel genannten Elektronenstrahlen-Maschine wird die Chipindustrie dazu in die Lage versetzt, den Erfolg fortzusetzen, den sie in den vergangenen Jahrzehnten damit hatte, alle paar Jahre die Groesse der Chips zu verringern. "Es sah so aus, als ob sie mit der herkoemmlichen optischen Lithographie irgendwann gegen Ende des Jahrhunderts nicht mehr weiterkommen wuerde", sagte der Leiter der Bell-Labs-Forschungsabteilung fuer fortgeschrittene Lithographie.

"Elektronenstrahlen gab es schon lange. Aber beim Schreiben von Chips auf Halbleiterscheiben waren sie so langsam, dass sie niemand kommerziell nutzte. Bei Scalpel mussten wir eine Methode fuer eine Elektronenstrahl-Drucktechnik finden, die nicht langsam ist und die immer kleinere Merkmale einbrennen kann." Mario Achler

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Letzte Änderung am 22 Aug 1996.
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